Decken Sie die Fehler auf, die die Leistung und Zuverlässigkeit beeinträchtigenDa die Funktionen und Geräte der Mikroelektronik immer kleiner und komplexer werden, ist es von entscheidender Bedeutung, dass Ingenieure und Technologen vollständig verstehen, wie Komponenten während der immer komplizierteren Herstellungsprozesse, die zu ihrer Herstellung erforderlich sind, beschädigt werden können. Ein umfassender Überblick über Defekte, die in siliziumbasierten Metalloxid-Halbleiter-Feldeffekttransistoren (MOSFET)-Technologien auftreten. Dieses Buch befasst sich auch mit Fehlern in linearen bipolaren Technologien, Siliziumkarbid-basierten Bauelementen und Galliumarsenid-Materialien und -Bauelementen. Diese Defekte können die Ausbeute, die Leistung, die langfristige Zuverlässigkeit und das Strahlungsverhalten von mikroelektronischen Bauelementen und integrierten Schaltkreisen (ICs) tiefgreifend beeinträchtigen. Dieser Text organisiert das Material, um ein Verständnis für die Probleme aufzubauen und Wissenschaftlern, Ingenieuren und Technologen eine schnelle Referenz zu bieten, und untersucht ertrags- und leistungsbegrenzende Defekte und Verunreinigungen in der Siliziumschicht des Bauelements, im Gate-Isolator und/oder an der kritischen Si/SiO2-Grenzfläche. Anschließend werden Defekte untersucht, die sich auf die Produktionsausbeute und die langfristige Zuverlässigkeit auswirken, darunter: Leerstellen, Interstitials und Verunreinigungen (insbesondere Wasserstoff) Instabilitäten bei negativen Bias-Temperaturen Defekte in ultradünnen Oxiden (SiO2 und Siliziumoxynitrid) <br> <br>Take A Proactive Approach Die Autoren verdichten jahrzehntelange Erfahrungen und Perspektiven namhafter Experimentatoren und Theoretiker, um Defekteigenschaften und ihre Auswirkungen auf mikroelektronische Bauelemente zu charakterisieren. Sie identifizieren die Fehler und bieten Lösungen zu ihrer Vermeidung und Methoden, um sie zu erkennen. Dazu gehören der Einsatz von 3-D-Bildgebung ebenso wie elektrische, analytische, computerspektroskopische und modernste mikroskopische Methoden. Dieses Buch ist ein wertvoller Blick auf die Herausforderungen, die aus den Schwellenländern kommen werden . Sprache: Englisch