Es ist bestenfalls eine Herausforderung, eine Ressource zu finden, die die Breite an Informationen bietet, die für die Entwicklung eines erfolgreichen Designs für mikroelektromechanische Systeme (MEMS) erforderlich sind. Micro Electro Mechanical System Design ist diese Ressource. Es handelt sich um einen umfassenden Leitfaden aus einer Hand, der den Designprozess erklärt, indem er die gesamte Bandbreite der damit verbundenen Probleme veranschaulicht, wie sie miteinander zusammenhängen und wie sie schnell und genau angegangen werden können. Die Materialien werden in logischer Reihenfolge dargestellt, relativ zu der Art und Weise, wie ein MEMS-Designer sie anwenden muss. Damit beispielsweise ein Projekt korrekt, pünktlich und innerhalb des Budgets abgeschlossen werden kann, müssen die folgenden unterschiedlichen, aber miteinander verbundenen Probleme in den Anfangsphasen des Designs und der Entwicklung berücksichtigt werden: Verständnis der verfügbaren Fertigungstechnologien Erkennen der relevanten Physik für Bauelemente im Mikrometerbereich Berücksichtigung von Implementierungsproblemen, die auf computergestützte Design Fokussierung auf die technischen Details und die anschließende Bewertung von Tests Ein Auge für Details sowohl in Bezug auf Zuverlässigkeit als auch Verpackung Diese Themen werden in diesem Buch ausführlich behandelt, zusammen mit Fragen und Problemen am Ende jedes Kapitels, die zur Überprüfung und weiteren Reflexion jedes Themas anregen. Darüber hinaus bieten die Anhänge Informationen, die jede Phase der Projektkonzeption und -entwicklung ergänzen. . Sprache: Englisch